发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR PLASMA-PROCESSING MICROWAVE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH01107538(A) |
申请公布日期 |
1989.04.25 |
申请号 |
JP19870263899 |
申请日期 |
1987.10.21 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KAWAHARA HIRONORI;FUKUYAMA RYOJI;KUDO KATSUYOSHI;KAWASAKI YOSHINAO |
分类号 |
H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31;H05H1/46 |
主分类号 |
H01L21/302 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|