| 发明名称 |
MAGNETRON SPUTTER COATING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01104772(A) |
申请公布日期 |
1989.04.21 |
| 申请号 |
JP19880164823 |
申请日期 |
1988.07.01 |
| 申请人 |
BOC GROUP INC:THE |
发明人 |
RICHIYAADO AANESUTO DEMAREE;GEARII BURATSUDOFUOODO KURAMURII |
| 分类号 |
H01J37/32;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/36;H01J37/305;H01J37/34 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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