| 发明名称 |
PROCESS FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
HK30789(A) |
申请公布日期 |
1989.04.21 |
| 申请号 |
HK19890000307 |
申请日期 |
1989.04.13 |
| 申请人 |
HITACHI LTD. |
发明人 |
MIKINORI KAWAJI;TOSHIHIKO TAKAKURA;AKIHISA UCHIDA;SHIGEO KURODA |
| 分类号 |
H01L21/762;H01L21/763;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/76 |
主分类号 |
H01L21/762 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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