发明名称 CONFINEMENT DYNAMIQUE ET ACCOSTAGE SANS CONTACT
摘要 Procédé d'isolement vis-à-vis de la pollution extérieure d'une enceinte présentant une ouverture libre, par une ou plusieurs nappes gazeuses continues.
申请公布号 FR2621887(A1) 申请公布日期 1989.04.21
申请号 FR19870014469 申请日期 1987.10.20
申请人 SGN STE GLE TECHNIQUES NLES 发明人 FRANCOIS MELINE
分类号 B01L1/00;B25H1/20;F24F9/00;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/677 主分类号 B01L1/00
代理机构 代理人
主权项
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