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发明名称 FORMATION OF BURIED INSULATING LAYER
摘要
申请公布号 JPH0194642(A) 申请公布日期 1989.04.13
申请号 JP19870253332 申请日期 1987.10.06
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NISHIMURA TADASHI;SUGAHARA KAZUYUKI
分类号 H01L21/31;H01L21/316 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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