| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR BESCHICHTUNG VON METALLOXID-HALBLEITERSENSOREN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DD266887(A1) |
申请公布日期 |
1989.04.12 |
| 申请号 |
DD19870308905 |
申请日期 |
1987.11.11 |
| 申请人 |
AKADEMIE DER WISSENSCHAFTEN DER DDR,DD |
发明人 |
THIELEMANN,HORST,DD |
| 分类号 |
H01B1/20;H01L21/36;(IPC1-7):H01L21/36 |
主分类号 |
H01B1/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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