发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0191436(A) 申请公布日期 1989.04.11
申请号 JP19870249464 申请日期 1987.10.01
申请人 NEC CORP 发明人 HIGUCHI KOICHI
分类号 H01L23/52;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/3205 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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