| 发明名称 |
Apparatus for automatically controlling the magnification factor of a scanning electron microscope |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US4818873(A) |
申请公布日期 |
1989.04.04 |
| 申请号 |
US19870114741 |
申请日期 |
1987.10.30 |
| 申请人 |
VICKERS INSTRUMENTS (CANADA) INC. |
发明人 |
HERRIOT, GLEN A. |
| 分类号 |
H01J37/147;H01J37/22;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/256 |
主分类号 |
H01J37/147 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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