| 发明名称 |
FLOOD-GUN DEVICE AND METHOD OF NEUTRALIZE CHARGE ON WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6486435(A) |
申请公布日期 |
1989.03.31 |
| 申请号 |
JP19880116743 |
申请日期 |
1988.05.13 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
ANTONII RENAU;SUTEIIBUN MOFUITSUTO;FUREDERITSUKU PURANBU |
| 分类号 |
C23C14/48;H01J37/02;H01J37/06;H01J37/317;H01L21/265 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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