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经营范围
发明名称
METHOD OF ANNEALING SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号
JPS6484718(A)
申请公布日期
1989.03.30
申请号
JP19870243427
申请日期
1987.09.28
申请人
FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE
发明人
OTSUKI YASUO;KIKUTA TOSHIO
分类号
H01L21/324;H01L21/265
主分类号
H01L21/324
代理机构
代理人
主权项
地址
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