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发明名称 METHOD FOR REDUCING OXYGEN PRECIPITATION IN SILICON WAFERS
摘要
申请公布号 EP0099878(B1) 申请公布日期 1989.03.22
申请号 EP19820900597 申请日期 1981.12.31
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 CHYE, PATRICK W.;HEARN, ERIC W.;KULKARNI, MURLIDHAR V.;MARKOVITS, GARY
分类号 H01L21/322;H01L21/324;(IPC1-7):F27D5/00;F27D7/00;C30B33/00;H01L29/00;F27D13/00 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
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