| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SINGLE CRYSTAL SEMICONDUCTOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6472533(A) |
申请公布日期 |
1989.03.17 |
| 申请号 |
JP19870229195 |
申请日期 |
1987.09.11 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
OMURA YASUHISA;IZUMI KATSUTOSHI |
| 分类号 |
C30B31/22;C30B29/06;C30B33/00;H01L21/02;H01L21/265;H01L21/324;H01L21/76;H01L27/12 |
主分类号 |
C30B31/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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