发明名称 MANUFACTURE OF MIS-TYPE SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6473675(A) 申请公布日期 1989.03.17
申请号 JP19870231603 申请日期 1987.09.14
申请人 NEC CORP 发明人 KOMATSU MICHIO
分类号 H01L21/265;H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/08;H01L27/088;H01L29/78 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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