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发明名称 PLASMA DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6471098(A) 申请公布日期 1989.03.16
申请号 JP19870225226 申请日期 1987.09.10
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TAKI MASAKAZU;YOSHIZAWA KENJI;NISHIMAE JUNICHI;YANAGI TADASHI;UEDA YOSHIHIRO
分类号 H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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