| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR PRAEPARATION VON HALBLEITERBAUELEMENTEN FUER RASTERELEKTRONENMIKROSKOPISCHE FEHLERANALYSEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DD265466(A1) |
申请公布日期 |
1989.03.01 |
| 申请号 |
DD19870307502 |
申请日期 |
1987.10.01 |
| 申请人 |
VEB WERK F. FERNSEHELEKTRONIK,DD |
发明人 |
FISCHER,WOLFGANG,DD |
| 分类号 |
G01N1/32;G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01N1/32 |
主分类号 |
G01N1/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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