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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6450571(A)
申请公布日期
1989.02.27
申请号
JP19870207767
申请日期
1987.08.21
申请人
KOMATSU LTD
发明人
TABUCHI TOSHIHIRO
分类号
H01L21/18;H01L21/331;H01L29/72;H01L29/73;H01L29/80
主分类号
H01L21/18
代理机构
代理人
主权项
地址
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