| 发明名称 |
APPAREIL POUR LE SECHAGE UNITAIRE DES PLAQUETTES DE SILICIUM PAR CENTRIFUGATION |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
FR2591324(B1) |
申请公布日期 |
1989.02.17 |
| 申请号 |
FR19850018637 |
申请日期 |
1985.12.10 |
| 申请人 |
RECIF |
发明人 |
BERNARD POLI ET GERARD CHINCHOLLE;CHINCHOLLE GERARD |
| 分类号 |
F26B5/08;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):F26B5/08;F26B11/18 |
主分类号 |
F26B5/08 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
