| 发明名称 |
DEKLAAG OPBRENGSYSTEEM VOOR EEN WAFER OF PLAK. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL8802563(A) |
申请公布日期 |
1989.02.01 |
| 申请号 |
NL19880002563 |
申请日期 |
1988.10.18 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOCIATES, INC. TE PALO ALTO, CALIFORNIE, VER. ST. V. AM. |
发明人 |
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| 分类号 |
B65G49/07;C23C14/34;C23C14/50;C23C14/54;C23C14/56;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/31;H01L21/3205;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/687 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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