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发明名称 METHOD FOR GROWING III-V COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS6430210(A) 申请公布日期 1989.02.01
申请号 JP19870185556 申请日期 1987.07.27
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 OGASAWARA MATSUYUKI;MORI HIDEFUMI;YAMAMOTO MITSUO;TACHIKAWA MASAMI
分类号 H01L21/205;C30B25/16 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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