发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6427242(A) 申请公布日期 1989.01.30
申请号 JP19870183895 申请日期 1987.07.22
申请人 NEC CORP 发明人 KOBAYASHI DAISAKU
分类号 H01L21/3213;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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