发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6427231(A) 申请公布日期 1989.01.30
申请号 JP19870164241 申请日期 1987.06.30
申请人 NEC CORP 发明人 TAKEMURA KAZUMI;TOYOKAWA FUMITOSHI;MIKAMI MASAO
分类号 H01L21/322 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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