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经营范围
发明名称
PATTERN FORMING METHOD
摘要
申请公布号
JPS6425552(A)
申请公布日期
1989.01.27
申请号
JP19870181054
申请日期
1987.07.22
申请人
HITACHI LTD
发明人
SUZUKI TAKASHI;MIMURA AKIO;KONISHI NOBUTAKE;HOSOKAWA YOSHIKAZU
分类号
H01L23/52;H01L21/28;H01L21/3205
主分类号
H01L23/52
代理机构
代理人
主权项
地址
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