发明名称 FORMING METHOD FOR PATTERN
摘要
申请公布号 JPS6422028(A) 申请公布日期 1989.01.25
申请号 JP19870178676 申请日期 1987.07.17
申请人 SONY CORP 发明人 HIRATA SHOJI
分类号 G02B5/18;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;H01S5/00 主分类号 G02B5/18
代理机构 代理人
主权项
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