发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6420505(A) 申请公布日期 1989.01.24
申请号 JP19870177621 申请日期 1987.07.15
申请人 NEC CORP 发明人 YONEYAMA MASAHIRO
分类号 G02B5/20;H01L27/14 主分类号 G02B5/20
代理机构 代理人
主权项
地址