发明名称 FORMATION OF BUMP
摘要
申请公布号 JPS6417450(A) 申请公布日期 1989.01.20
申请号 JP19870172786 申请日期 1987.07.13
申请人 HITACHI LTD 发明人 KIKUCHI HIROSHI;OKA HITOSHI;WAKADORI YOSHIAKI;MATSUKAWA KEIZO
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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