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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS647626(A) 申请公布日期 1989.01.11
申请号 JP19870161251 申请日期 1987.06.30
申请人 NEC CORP 发明人 YANAGIYA MASANOBU
分类号 H01L21/52;H01L23/50 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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