| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR INTEGRATED SENSOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS646852(A) |
申请公布日期 |
1989.01.11 |
| 申请号 |
JP19870163335 |
申请日期 |
1987.06.30 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
TAKAHASHI YUKINOBU;NISHIWAKI SATOSHI |
| 分类号 |
G01R27/26;G01N27/00;H01L21/822;H01L27/04;H01L29/84 |
主分类号 |
G01R27/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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