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发明名称
METHOD AND APPARATUS FOR CZOCHRALSKI SINGLE CRYSTAL GROWING
摘要
申请公布号
EP0229322(A3)
申请公布日期
1988.12.07
申请号
EP19860117202
申请日期
1986.12.10
申请人
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
发明人
YAMAGISHI, HIROTOSHI;FUSEGAWA, IZUMI;YOKOTA, SHUJI;HATTORI, JUNICHI;KARASAWA, YUKIO;ABE, TAKAO
分类号
C30B15/00;C30B15/14;C30B29/06;H01L21/18;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/14
主分类号
C30B15/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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