发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR CZOCHRALSKI SINGLE CRYSTAL GROWING
摘要
申请公布号 EP0229322(A3) 申请公布日期 1988.12.07
申请号 EP19860117202 申请日期 1986.12.10
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 发明人 YAMAGISHI, HIROTOSHI;FUSEGAWA, IZUMI;YOKOTA, SHUJI;HATTORI, JUNICHI;KARASAWA, YUKIO;ABE, TAKAO
分类号 C30B15/00;C30B15/14;C30B29/06;H01L21/18;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/14 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
主权项
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