发明名称 APPARATUS WITH VACUUM ARC ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPS63279543(A) 申请公布日期 1988.11.16
申请号 JP19880084215 申请日期 1988.04.07
申请人 PHILIPS GLOEILAMPENFAB:NV 发明人 ANRI BERUNARUDE
分类号 H05H1/00;H01J27/02;H01J27/08;H01J37/08 主分类号 H05H1/00
代理机构 代理人
主权项
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