| 发明名称 |
METHOD OF FORMING LOW STRAIN FIRE -RESISTANT METAL LAYER ON SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS63275114(A) |
申请公布日期 |
1988.11.11 |
| 申请号 |
JP19880062105 |
申请日期 |
1988.03.17 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
RAJIIBU BUASANTO JIYOUSHI |
| 分类号 |
H01L21/285;C23C16/02;C23C16/14;C23C16/24;C23C16/44;C23C16/50;H01L21/28;H01L21/3205 |
主分类号 |
H01L21/285 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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