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发明名称
摘要
申请公布号
JPS6342457(Y2)
申请公布日期
1988.11.07
申请号
JP19830047964U
申请日期
1983.03.31
申请人
发明人
分类号
H01J37/147;H01J37/28;H01J37/305;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01J37/147
主分类号
H01J37/147
代理机构
代理人
主权项
地址
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