METHOD AND APPARATUS FOR PROCESSING WITH PLASMA

摘要

Dans un appareil de traitement au plasma, un gaz est introduit dans une chambre (20) formant un plasma par un conduit d'introduction de gaz (22), une micro-onde d'entrée provenant d'une source de micro-ondes (31) est acheminée dans la chambre (20) formant le plasma et le gaz ainsi introduit est converti en un plasma par résonance en cyclotron d'électrons (ECR). La micro-onde d'entrée en mode transversal électrique (TE) provenant d'un source de micro-ondes (31) est reçue par un guide d'onde (60) à section décroissante dans lequel est logée une plaque diélectrique (63) et au moins une partie de la micro-onde d'entrée est convertie en une portion de micro-onde en mode EH présentant un composant de champ dans la direction d'avance de la micro-onde d'entrée. Une micro-onde en mode hybride contenant les ondes dans ces deux modes est guidée dans la chambre (20) formant le plasma via une fenêtre d'introduction de micro-onde (27). Etant donné que la chambre (20) formant le plasma reçoit l'onde en mode hybride d'un mode de propagation comportant une composante de champ électrique dans la direction d'avance, c'est-à-dire comportant une composante longitudinale, l'énergie de la micro-onde est amenée efficacement dans la région du plasma qui satisfait à la condition ECR et est absorbée dans le plasma. Ainsi l'efficacité de formation du plasma et la production du traitement au plasma augmente également.