发明名称 DISPOSITIF POUR LA FABRICATION DE MICROCONDUCTEURS
摘要
申请公布号 FR2550107(B1) 申请公布日期 1988.10.28
申请号 FR19830013005 申请日期 1983.08.05
申请人 BELORUSSKY POLITEKHNICHESKY INST 发明人 ALEXANDR VASILIEVICH STEPANENKO, VLADIMIR GRIGORIEVICH VOITOV, VIKTOR SERGEEVICH KARPITSKY ET SVYATOSLAV ALEXANDROVICH BARTASHEVICH;VOITOV VLADIMIR GRIGORIEVICH;KARPITSKY VIKTOR SERGEEVICH;BARTASHEVICH SVYATOSLAV ALEXAN
分类号 H01B5/02;B21B1/16;B21C1/00;B21C37/00;B21C37/04;H01B13/00;(IPC1-7):B21B1/18 主分类号 H01B5/02
代理机构 代理人
主权项
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