发明名称 RESIST SOLVENT COMPOSITION
摘要
申请公布号 GB8821718(D0) 申请公布日期 1988.10.19
申请号 GB19880021718 申请日期 1988.09.16
申请人 TOKYO OHKA KOGYO CO LTD 发明人
分类号 C11D7/50;G03C11/00;G03F7/00;G03F7/42;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/00 主分类号 C11D7/50
代理机构 代理人
主权项
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