发明名称 MICROWAVE DISCHARGE LIGHT SOURCE
摘要
申请公布号 JPS63250095(A) 申请公布日期 1988.10.17
申请号 JP19870085114 申请日期 1987.04.07
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SHODA ISAO;KODAMA HITOSHI;UMAGOME KAZUO;YOSHIZAWA KENJI
分类号 H01J65/04;H01P5/08;H01P7/06;H05B41/24 主分类号 H01J65/04
代理机构 代理人
主权项
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