发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS63237470(A) 申请公布日期 1988.10.03
申请号 JP19870319133 申请日期 1987.12.18
申请人 INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> 发明人 MASANORI MURAKAMI;UIRIAMU HENRII PURAISU
分类号 H01L29/872;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/338;H01L29/43;H01L29/45;H01L29/47;H01L29/78;H01L29/812 主分类号 H01L29/872
代理机构 代理人
主权项
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