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发明名称 SEMICONDUCTOR TRANSDUCER.
摘要
申请公布号 EP0183837(A4) 申请公布日期 1988.07.29
申请号 EP19850903464 申请日期 1985.06.04
申请人 TACTILE PERCEPTIONS, INC. 发明人 KNUTTI, WALTER, JAMES;ALLEN, HENRY, VANDEGRIFT;PETERSEN, KURT, EDWARD;KOWALSKI, CARL, RAYMOND
分类号 G01L9/04;G01L1/18;H01L29/84;(IPC1-7):H01L29/84;G01L9/06;H01L21/304 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
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