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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING GAAS SINGLE CRYSTALS
摘要
申请公布号 GB2163181(B) 申请公布日期 1988.07.27
申请号 GB19850017875 申请日期 1985.07.16
申请人 * RESEARCH DEVELOPMENT CORPORATION OF JAPAN;JUNICHI * NISHIZAWA;YOSHIHIRO * KOKUBUN 发明人 JUNICHI * NISHIZAWA;YOSHIHIRO * KOKUBUN
分类号 H01L21/205;C30B25/10;H01L21/268;(IPC1-7):C23C16/08 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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