Pivotal-spring connection, and manufacturing method.

摘要

Das mikromechanische Biegefedergelenk aus selektiv geätztem Siliciumwafermaterial besteht aus zwei nebeneinander angeordneten, gekreuzten und schräg zu den Hauptflächen des Wafers verlaufende, einstückig aus dem Wafer durch selektives Ätzen gewonnenen Blattfedern (20, 2l). Das Biegefedergelenk zeichnet sich durch hohe Präzision hinsichtlich Drehpunktlage, Biegefederkonstante und durch hohe Querachsensteifigkeit aus.