发明名称 PROCESS FOR FORMING AN ORGANIC THIN FILM
摘要
申请公布号 EP0140240(B1) 申请公布日期 1988.07.06
申请号 EP19840112203 申请日期 1984.10.11
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 TANAKA, MASAHIRO;AOZUMA, KAZUFUMI;NATE, KAZUO;NAKANTANI, MITSUO
分类号 G03C1/76;B05D3/06;B05D7/24;(IPC1-7):C23C14/12;C23C14/28 主分类号 G03C1/76
代理机构 代理人
主权项
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