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发明名称 ETCHANT COMPOSITION
摘要
申请公布号 EP0133584(B1) 申请公布日期 1988.06.29
申请号 EP19840109546 申请日期 1984.08.10
申请人 DAIKIN INDUSTRIES, LIMITED 发明人 NAONORI, ENJO;KOJI, TAMURA
分类号 C23F1/24;C09K13/08;C23F1/30;H01L21/311 主分类号 C23F1/24
代理机构 代理人
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