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发明名称 METHOD AND ARRANGEMENT FOR OPERATING A SCANNING MICROSCOPE
摘要
申请公布号 EP0213438(A3) 申请公布日期 1988.06.22
申请号 EP19860110818 申请日期 1986.08.05
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUNCHEN 发明人 BRUST, HANS-DETLEF;OTTO, JOHANN, DIPL.-ING. FH
分类号 G01N23/225;G01R31/302;G02B21/00;H01J37/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01N23/225
代理机构 代理人
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