发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG ELEKTRISCHER DURCHGANGSVERBINDUNGEN
摘要
申请公布号 DD257717(A1) 申请公布日期 1988.06.22
申请号 DD19870299891 申请日期 1987.02.13
申请人 TU DRESDEN DIREKT. FORSCH.,DD 发明人 STOLZE,BERND,DD
分类号 H01L23/48;(IPC1-7):H01L23/48 主分类号 H01L23/48
代理机构 代理人
主权项
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