发明名称 PROCEDURE FOR ELECTROSTATIC BONDING OF SILICON AND GLASSAND DEVICE FOR ELECTROSTATIC BONDING OF SILICON AND GLASS
摘要
申请公布号 PL261718(A1) 申请公布日期 1988.06.09
申请号 PL19860261718 申请日期 1986.10.03
申请人 发明人
分类号 C03C;C03C27/00;H01L21/00;(IPC1-7):C03C/ 主分类号 C03C
代理机构 代理人
主权项
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