发明名称 PLANAR SURFACE SCANNING SYSTEM
摘要 Un système d'exploration d'une surface définit un chemin optique pour explorer une surface plane (22). Dans ce système, un dispositif d'exploration à déplacement angulaire (70) défléchit une portion du chemin, un élément optique 952) aligné avec des parties stationnaires du chemin optique est entraînée dans un mouvement rectiligne sinusoïdal pour exercer une correction de focalisation au cours de l'exploration de la surface, le mouvement sinusoïdal de l'élément optique et le mouvement du dispositif d'exploration étant interdépendants (32) en fréquence et en phase. Le mouvement sinusoïdal de l'élément optique maintient une focalisation précise sur la surface plane. Dans un autre aspect de l'invention, un dispositif permettant de déplacer un élément optique suivant un mouvement résonant linéaire comprend une structure de support élastique en porte-à-faux (102, 106) agencé pour permettre uniquement un mouvement linéaire de l'élément, et des moyens (120) pour commander de manière résonante l'élément.
申请公布号 WO8804121(A1) 申请公布日期 1988.06.02
申请号 WO1987US03044 申请日期 1987.11.18
申请人 GENERAL SCANNING INCORPORATED 发明人 PAULSEN, DEAN, R.
分类号 G02B26/10;G06K15/12;H04N1/113;(IPC1-7):H04N1/10 主分类号 G02B26/10
代理机构 代理人
主权项
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