发明名称 |
FOERFARANDE FOER FRAMSTAELLNING AV ETT SKIKT I ETT PLANFORMIGT FLERSKIKTANSLUTNINGSSYSTEM. |
摘要 |
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申请公布号 |
FI882058(A0) |
申请公布日期 |
1988.05.03 |
申请号 |
FI19880002058 |
申请日期 |
1988.05.03 |
申请人 |
DIGITAL EQUIPMENT CORPORATION |
发明人 |
WU, ANDREW L. |
分类号 |
H05K3/46;H01L21/48;H01L23/538;H05K3/14;H05K3/18;(IPC1-7):H01L/ |
主分类号 |
H05K3/46 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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