发明名称 ION IMPLANTATION CONTROL DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6391949(A) 申请公布日期 1988.04.22
申请号 JP19860236448 申请日期 1986.10.03
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 KAWAHARA SHUICHI
分类号 H01L21/265;H01J37/317 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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