发明名称 MANUFACTURE OF COMPOUND THIN FILM OF GROUP II AND VI ELEMENTS
摘要
申请公布号 JPS6390833(A) 申请公布日期 1988.04.21
申请号 JP19860236533 申请日期 1986.10.03
申请人 NEC CORP 发明人 ISHIKO MASAYASU
分类号 H01L21/365 主分类号 H01L21/365
代理机构 代理人
主权项
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