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发明名称
摘要
申请公布号
JPS6357736(U)
申请公布日期
1988.04.18
申请号
JP19860151652U
申请日期
1986.10.01
申请人
发明人
分类号
H01L31/02;H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/203
主分类号
H01L31/02
代理机构
代理人
主权项
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