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发明名称 MAGNETRON PLASMA DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04218913(A) 申请公布日期 1992.08.10
申请号 JP19900339801 申请日期 1990.11.30
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;TOSHIBA CORP 发明人 HARADA HIROMI;ARAMI JIYUNICHI;YOSHIDA YUKIMASA
分类号 C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H05H1/46 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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